Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
11 411 304 тенге
/шт 
Подогрев подложки до, ℃
—
1500
16 634 724 тенге
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
75
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
750
51 250 046 тенге
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
80
Количество магнетронов, шт
—
1
Подогрев подложки до, ℃
—
500
117 449 240 тенге
/шт 
203 039 694 тенге
/шт
226 050 591 тенге
/шт 
237 556 039 тенге
/шт
318 094 178 тенге
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50/25
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
600
По запросу
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
600
По запросу