Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
11 103 746 тенге
/шт 
Подогрев подложки до, ℃
—
1500
16 186 384 тенге
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
75
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
750
49 868 751 тенге
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
80
Количество магнетронов, шт
—
1
Подогрев подложки до, ℃
—
500
114 283 740 тенге
/шт 
197 567 355 тенге
/шт
219 958 061 тенге
/шт 
231 153 413 тенге
/шт
309 520 883 тенге
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50/25
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
600
По запросу
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
600
По запросу